真空泵的種類有哪些？

真空泵的類型非常多，劃分方法也多樣：

按工作原理分：容積變化泵（如旋片泵、渦旋泵等）；動量傳輸泵（如分子泵、擴散泵等）；吸附捕集泵（如低溫泵、離子泵、吸氣劑泵）

按工作介質分：干式泵（如渦旋泵、分子泵、離子泵等）和非干式泵（如旋片泵、擴散泵等）

按真空度分：低真空泵（如旋片泵、渦旋泵、羅茨泵等）、高真空泵（如分子泵、擴散泵、低溫泵等）、超高真空泵（如離子泵、鈦升華泵、吸氣劑泵等）

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